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離子注入機(jī)閃耀珠海航展
來(lái)源:新聞中心
發(fā)布時(shí)間:2021年09月26日 編輯:新聞中心

  離子注入機(jī)是芯片制造中的核心關(guān)鍵裝備。中國(guó)電科連續(xù)突破大流強(qiáng)長(zhǎng)壽命高品質(zhì)離子源、高速晶圓傳輸?shù)群诵年P(guān)鍵技術(shù),自主研制中束流、大束流、高能、特種應(yīng)用及第三代半導(dǎo)體等離子注入機(jī),工藝段覆蓋至28nm,累計(jì)形成核心發(fā)明專(zhuān)利413項(xiàng),實(shí)現(xiàn)我國(guó)芯片制造領(lǐng)域全譜系離子注入機(jī)自主創(chuàng)新發(fā)展,有效緩解我國(guó)芯片制造領(lǐng)域斷鏈、短鏈難題。

  截止到目前,中國(guó)電科已成功實(shí)現(xiàn)離子注入機(jī)全譜系產(chǎn)品國(guó)產(chǎn)化,可為全球芯片制造企業(yè)提供離子注入機(jī)一站式解決方案。下一步,將瞄準(zhǔn)高端,緊跟先進(jìn)工藝發(fā)展,加快推進(jìn)適用于更先進(jìn)工藝節(jié)點(diǎn)離子注入機(jī)的研發(fā)及產(chǎn)業(yè)化。

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